表面電阻率的測量 
  表面電阻率定義為材料表面的電阻，并表示為歐姆（通常稱為方塊電阻）。其測量方法是將兩個(gè)電極放在測試樣品的表面，在電極之間施加一個(gè)電位差，并測量產(chǎn)生的電流。

偏置修正技術(shù) 
  在測量電阻率非常高的材料時(shí)，背景電流可能會(huì)引起測量誤差。背景電流可能是由材料中儲(chǔ)存的電荷（介電吸收）、靜電或摩擦電的電荷或壓電效應(yīng)引起的。背景電流可能等于或大于所加電壓源激勵(lì)出的電流。如果背景電流和測量的電流同極性，那么測量出的電流值將會(huì)比真值大得多。如果背景電流是反極性的，那么這種不希望有的電流可能會(huì)引起反極性的電流讀數(shù)。這就是說，電流的極性和所加電壓的極性相反，于是計(jì)算出的電阻將為負(fù)值。為了解決這個(gè)問題，采用變換極性和變換電壓的方法實(shí)際上可以消除背景電流對樣品的影響。  

變換極性法  
  變換極性法施加一個(gè)正極性的偏置電壓，然后在規(guī)定的延遲時(shí)間后測量電流。接著將極性反向，經(jīng)過同樣的延遲時(shí)間再測量電流。這種極性反轉(zhuǎn)過程可以重復(fù)任意的次數(shù)。根據(jù)zui近的電流測量結(jié)果，按照加權(quán)平均可以計(jì)算出電阻值。